Arbeitsgruppe "Ionenstrahlphysik"
apl. Prof. Dr. Elke Wendler
Germanium2
Die AG Ionenstrahlphysik beschäftigt sich mit der Modifikation von Festkörpern und der Synthese von vergrabenen Nanostrukturen durch Ionenimplantation und Nachfolgeprozesse. Im Fokus stehen verschiedene III-V Halbleiter sowie oxidische Materialien mit großer Bandlücke, welche aufgrund ihrer hohen Transparenz für sichtbares Licht interessant für elektronische und optische Bauelemente sind. Hier erforschen wir insbesondere die Wirkung des nuklearen und elektronischen Energieverlustes der implantierten Ionen in den zumeist kristallinen Materialien. Ein weiterer Schwerpunkt der AG ist die Ionenstrahlanalyse - wie Rutherford-Weitwinkelstreuung leichter Ionen (RBS) und Kernrektionsanalyse (NRA) - zur Untersuchung von Struktur und Zusammensetzung ionenimplantierter und anderer dünner Schichten.
IBM Buch
Foto: Elke WendlerTeil 1 Physikalische Grundlagen der Ion-Festkörper-Wechselwirkung
Das erste Kapitel umfasst die komplette theoretische Beschreibung von nuklearem und elektronischem Energieverlust von Ionen in Festkörpern. Weitere Kapitel geben einen Überblick über existierende Modelle zur Beschreibung der Schädenbildung durch den nuklearen und elektronischen Energieverlust der Ionen und die physikalischen Grundlagen der ionenstrahlinduzierten Synthese von Nanostrukturen.
Teil 2 Schädenbildung und Amorphisierung durch den nuklearen Energieverlust der Ionen
Dieser Teil liefert den aktuellen Wissensstand zu Schädenbildung, Amorphisierung sowie zur Rekristallisation in Halbleitern und keramischen Materialien infolge des nuklearen Energieeintrags der Ionen.
Teil 3 Schädenbildung und Amorphisierung durch den elektronischen Energieverlust der Ionen
Strukturelle Veränderungen sowie Phasenumwandlungen durch hohen elektronischen Energieverlust der Ionen in kristallinen Isolatoren, Metallen sowie in Halbleitern werden in diesem Teil behandelt.
Teil 4 Ausgewählte Anwendungen von Ionenbestrahlungen
Hier werden drei interessante Anwendungen der Ionenbestrahlung vorgestellt, die sich mit der Formung von eingebetteten Nanopartikeln, der Modifizierung komplexer Nanostrukturen und den optischen Eigenschaften spezieller ionenbestrahlter optischer Kristalle beschäftigen.
Arbeitsgruppe "Ionenstrahlphysik"
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